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	活動概要
	装置長期維持環境構築に関する検討活動
	JEITA転載 Seleteドキュメント
	公開資料ダウンロード
	2014/8/6　φ200mm半導体 製造ラインの装置長期利用における 　　　　　　　　 　 　 課題解決策案の検討（ＳＥＡＪとの共同研究）(PDFファイル)
	2012/11/29　200mm以下装置長期利用における 　　　　　　　 　　　　　　　 装置維持環境に関する問題起源E(PDFファイル)
	2012/10/24　φ200�o以下装置の長期利用における 　　　　　　　 　　　　　　　 半導体製造ライン操業リスクの概観E(PDFファイル)
	2010/4/1　JEITA Next Genation Factory(300mm Prime) 　　　　　　　　　　 ガイドライン解説（総論・可視化編）第1.03版(PDFファイル)
	2008/11/12 300mmPrimeガイドライン（フェーズ2_第2.50版）（PDFファイル）
	2007/11/26 300mmPrimeガイドライン（フェーズ2）（PDFファイル）
	2007/7/10 300mmPrimeガイドライン（フェーズ1）（PDFファイル）
	2006/8/22 EESに関する理解度、実装状況等のアンケート調査実施報告
	2005/6/9　装置導入時の品質保証高度化要求（装置ＱＡの高度化）英語版
	2005/3/23　装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書 Ver.1.0
	2004/5/6　装置導入時の品質保証高度化要求（装置ＱＡの高度化）日本語版
	2005/8/24　レチクルマネジメント調査研究報告書          〜先端SoCビジネスにおける設計と製造が連携した最適化の課題と提言〜
	2004/5/10　レチクルデータマネージメントガイドラインVer.2.0
	2002/8/26　レチクルデータマネージメントガイドラインVer.1.0

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（事務局） 一般社団法人 電子情報技術産業協会　電子デバイス部

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