| 装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書 Ver.1.0 （2005.3.23） |
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社団法人電子情報技術産業協会（ＪＥＩＴＡ）の半導体生産技術専門委員会・e-Manufacturing小委員会では、2000年から装置生産性向上のため、EES(Equipment Engineering System)のガイドライン作成に取り組みました。その後、Seleteと共同で装置メーカ、ソフトメーカとプロトタイプやEES仕様の整備を促進して参りました。昨年から委員会メンバー各社でEESが利用され出したことを受け、EESの初期利用方法として重要な「装置導入時の品質保証高度化」の利用促進を図るために、Seleteと共同で開発した装置QAドキュメントを掲載致しました。
今回更に「装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書」を開発致しました。今回このドキュメントを掲載し、より確実な装置運転の実現に必要不可欠な、「装置の持つ種々の機能の監視機能」の提供促進を図りたいと考えております。デバイスメーカ、装置メーカ、ソフトメーカの方々に広く読んで頂き、利用して頂くことを期待します。 |
| 2005/3/23 装置レベルでの装置機能の性能確認に関する解説書 Ver.1.0 ＜＜PDF[*.pdf(1,659KB)]＞＞ | |
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